Устройство очистки аргона и других технических газов Эпишур-А СЛ

Устройство «Эпишур-А СЛ» является эффективным средством получения действительно чистых газов и может быть использован для решения широкого спектра исследовательских и производственных задач, требующих чистой инертной среды или заданного газового состава в герметичных камерах (боксах), технологических установках и помещениях.

Применяется в работе с абсорбционными, оптическими эмиссионными спектрометрами и другими приборами, использующими инертный газ в качестве:

• плазмообразующего газа в спектрометрах с CRL, ИСП и микроволновым разрядом;
• газа-носителя в хроматографии,

а также в качестве защитной среды:

• при дуговой, плазменной или лазерной сварке;
• при выращивании кристаллов германия и кремния;
• в производстве полупроводников.

Особенности:

• Высокая сорбционная ёмкость фильтров, рассчитанная на реальное качество используемого газа, получаемое при загрязнении газовых баллонов у пользователей а также в результате рабочих процессов в боксах;
• Независимый нагрев фильтров, позволяющий использовать различную конфигурацию видов сорбентов и катализаторов в зависимости от типа очищаемого газа;
• Возможность интеграции в устройство электронных датчиков и сенсоров для контроля степени очистки газа по основным примесям загрязнения;
• Автоматическая система контроля заданных параметров режимов работы устройства;
• Широкий диапазон допустимого давления в газораспределительной системе устройства - от вакуума до 5 МПа;
• Регенерация фильтров без отключения устройства от газовых магистралей через дополнительные клапан и отвод;
• Эффективная фильтрация выходящего газа от пыли и других мелких частиц размером до 1 мкм;
• Большой выбор соединительной арматуры, обеспечивающей высокую герметичность во всех технологических процессах.