Инспекционный микроскоп МХ61/MX61L

Цена по запросу

MX61/MX61L — полупроводниковый инспекционный микроскоп, специально разработанный для исследования подложек и плат

Категория:

Описание

Прямой инспекционный микроскоп.

Учитывая большой опыт в данной области промышленности и материаловедении, Olympus предлагает многие решения, позволяющие инспектировать электронные компоненты легче, быстрее и более эффективно.

Данный микроскоп позволяет оператору работать в удобной позиции, тем самым увеличивая комфортное время для инспекции. Максимальны продуктивность и интеграция с инструментами в рабочей области.

Серия МХ61 была специально разработана компанией OLYMPUS для исследования материалов и компонентов, используемых в микроэлектронной промышленности, таких как полупроводники, кремниевые пластины, кристаллы, устройства хранения информации (CD, DVD, HDD и т.д.), ЖК — дисплеи, MEMS (микроэлектромеханические системы), светодиоды (LED) и проч.

Отличительной особенностью микроскопов MX61-MX61L от МХ51 является стандартное оснащение интерфейсом RS232, позволяющим управлять с ПК различными моторизованными блоками в микроскопе, а также моторизованной апертурной диафрагмой, автоматически подстраиваемой под используемый объектив, что позволяет добиваться наилучшего освещения, снижает нагрузку на глаза оператора и уменьшает ошибки при инспекции.

Микроскоп МХ61 имеет диапазон увеличений 12,5х — 1500х, а также еще одно преимущество по сравнению с моделью МХ51 — максимальный ход стола значительно увеличен до 14×12″, что позволяет исследовать кремниевые пластины диаметром до 350 мм. МХ61 работает в отраженном и проходящем свете по методам светлого поля, темного поля, поляризованного света, дифференциально-интерференционного контраста и флуоресценции. В штатив микроскопа встроено управление моторизованным револьвером и апертурной диафрагмой. В виде опции можно установить лазерный автофокус MX-AF, особенно эффективный при автоматизирован ной инспекции или исследовании полированных поверхностей.

Характеристики

Модель MX61 MX61L
Оптическая система UIS2 оптическая система {скорректированная на бесконечность).
Штатив микроскопа Отраженный свет (F.N.26.5) Процентированная галогеновая лампа 12В, 100Вт. Куб на светлое поле и темное поле + 1 пустой слот под метод контрастирования по выбору. Встроенная моторизованная апертурная диафрагма. (С предустанов­кой на каждый объектив, автоматически открывается при темнопольном методе обзора).
Проходящий свет* (F.N.26.5) Для проходящего света необходимы осветители MX-TILLA или MX-TILLB. MX-TILLA: конденсор (N.A.0.5), с апертурной диафрагмой. MX-TILLB: конденсор (N.A.0.6), с апертурной и полевой диафрагмой.
Методы контрастирования Отраженный свет: светлое поле, темное поле, поляризованный свет, дифференциально-интерференционный контраст (ДИК), флуоресценция. Проходящий свет: светлое поле, поляризованный свет.
Тубусы Суперширокопольный тубус прямого изображения (F.N.26.5)MX-SWETTR. Суперширокопольный тубус прямого изобра­ жения (F.N.26.5) MX-SWETTR или U-SWETTR-5.
Револьверы объективов Моторизованный светлопольный шестипозиционный револьвер со слотом для ДИК призмы U-D6REMC.

Моторизованный темнопольный пятипозиционный револьвер со слотом для ДИК призмы U-D5BDREMC.

Моторизованный темнопольный шестипозиционный револьвер со слотом для ДИК призмы U-D6BDREMC.

Моторизованный центрируемый темнопольный пятипозиционный револьвер со слотом для ДИК призмы U-P5BDREMC.

Столики Стол MX-SIC8R 8×8

Ход: 210 x210мм

(Зона для проходящего света 189×189мм).

Стол MX-SIC6R2 6×6.

Ход: 158 х 158мм (Только отраженный свет, для МХ61).

Стол MX-SIC1412R 2 14X12.

Ход: 356 х 305мм (Зона для проходящего света: 356×284мм). Совместим с MX-TILLB.

Роликовый ременной механизм, {не реечный).
Размеры/вес Размеры: прибл. 509(д) х 843(ш} х 507(в)мм. Вес: прибл. 40кг (штатив около. 27кг). Размеры: прибл. 710(д) х 843(ш) х 507(B) ММ. Вес: прибл. 51 кг (штатив около 31 кг).